废ITO靶材回收的核心挑战在于:
成分复杂:除In₂O₃、SnO₂外,含粘结剂、金属背板(铜/钼)等。
高纯度要求:再生铟纯度需达99.99%以上,杂质含量需严格控制在ppm级,否则影响新靶材性能。
铟锡分离:分离铟锡是实现价值化的关键。
闭环工艺:价值再造的精益之路
铟属稀有金属,是一种重要的电子工业材料,在高技术领域有着广泛的应用,主要集中在半导体、透明导电涂层、电子器件、荧光材料、金属有机物等方面。它在地壳中非常稀有而且分散,又称之为稀散金属,铟在地壳中的丰度很低,多种文献报道不一,普遍认为仅011μg/g,至今以其为主要成分的矿床尚未发现,它通常以微量(01005%)的组分共生于与其性质类似的锌、铅、铜和锡等矿物上,一般是从锌、铅、铜和锡等重金属冶炼的烟尘、熔渣中回收生产。
ITO靶材回收流程:
1. 收集废靶材:收集来源:面板厂、镀膜厂等使用ITO靶材的企业。
2. 表面处理/预处理 :清洗表面杂质、油污、物理去除残留膜层
3. 靶材分离:机械切割或分解、分离金属基板与ITO涂层
4. 湿法冶金回收:用酸(如硝酸、盐酸等)溶解ITO层、萃取液中回收铟和锡元素
5. 纯化与精炼 萃取、沉淀等精细化学手段,获得高纯度的铟、锡化合物
6. 再利用 提纯后的铟、锡用于制备新ITO靶材或其他用途
目前,市场上已有不少专业的ITO靶材回收企业,他们通过先进的回收技术和设备,将废旧ITO靶材中的铟、锡等元素进行有效分离和提纯,再加工成新的靶材产品,实现了资源的循环利用。