成熟闭环流程包括：

机械剥离：物理分离靶材与金属背板。

溶解富集：酸溶（如盐酸）将铟、锡浸出，固液分离。

铟锡深度分离：

选择性沉淀：控制pH值分步沉淀锡、铟化合物。

溶剂萃取：P507等萃取剂优先萃铟，实现铟锡分离，回收率>95%。

高纯铟制备：萃取液反萃 → 电解/置换得粗铟 → 真空蒸馏/区域熔炼 → 4N以上精铟。

再生靶材制造：精铟氧化 → 与氧化锡混合 → 成型烧结 → 新ITO靶材。

产业意义：从成本中心到价值引擎

从用过的ITO靶材中回收氧化铟包括几个步骤，包括溶解、沉淀和焙烧。首先将目标材料溶解在盐酸中，盐酸溶解氧化铟，然后加入氢氧化钠从酸性溶液中析出氧化铟。生成的氢氧化铟然后在高温下焙烧得到氧化铟。

从用过的ITO靶材中回收氧化铟的另一种方法是使用离子交换树脂，离子交换树脂用于选择性地从酸性溶液中吸附铟，然后用酸性溶液将铟从树脂中洗脱出来，并通过焙烧得到氧化铟。

从电子废物和废ITO靶材等废物来源中回收氧化铟是铟回收的一个重要方面。从这些废源中回收氧化铟可以通过各种工艺实现，包括化学处理、溶剂萃取和离子交换，回收的氧化铟可用于生产各种半导体器件，从而减少对新铟资源的需求，并将铟开采对环境的影响降至。